Le competenze sul catasto affidate nel 1865 alle Agenzie delle tasse dirette vennero in parte assegnate nel 1881 anche agli Uffici tecnici di finanza, istituiti con r.d. 6 mar. 1881, n. 120, che ne approvò il ruolo e definì il quadro delle strutture periferiche dell'amministrazione catastale. Organi periferici alle dipendenze della Direzione generale delle imposte dirette e del catasto del Ministero delle finanze, avevano competenza provinciale ed erano espressamente preposti ai servizi del catasto e ad altri servizi di natura tecnico-erariale, con particolare riferimento alle tasse di fabbricazione ed alla tassa di vendita degli spiriti.
Il r.d. 120/1881 dispose anche la soppressione degli Uffici tecnici del macinato, istituiti con r.d. 13 mar. 1870, n. 5595, nei capoluoghi di provincia con competenza sulla tassa sul macinato dei cereali, e delle tre Direzioni tecniche del macinato di Firenze, Napoli e Torino da cui dipendevano. Le loro attribuzioni furono affidate agli stessi Uffici tecnici di finanza, fino alla cessazione della tassa sul macinato.
Con il r.d. 15 giu. 1884, n. 2419, che approvò il ruolo organico del personale tecnico di finanza e istituì al centro un Ufficio del personale tecnico di finanza con funzioni anche ispettive, gli Uffici tecnici di finanza furono trasformati in Sezioni tecniche delle Intendenze di finanza. Con l. 1° mar. 1886, n. 3682 (cosiddetta legge Messedaglia) che riordinava l'imposta fondiaria, venne infine stabilita l'attuazione del Nuovo catasto terreni, fondato su rilevazione geometrico particellare e uniforme per tutto il territorio, riguardante tutta la superficie del territorio. La stessa legge istituì un Ufficio generale del catasto, con compiti di direzione e vigilanza su tutte le operazioni catastali e le Giunte tecniche provinciali, per le operazioni di stima. Vennero anche istituite le Commissioni censuarie: una centrale, una in ogni provincia e una in ogni comune, con il compito di assistenza alla formazione catastale e di esame dei reclami. Il r.d. 2 ago. 1887, n. 4871, che approvava il regolamento per l'esecuzione della legge 3682/1886 istituì una Giunta superiore del catasto, cui spettava l'indirizzo generale e la vigilanza su tutte le operazioni catastali. Con r.d. 20 set. 1887, n. 4959, vennero approvati i ruoli organici della Giunta superiore, dell'Ufficio centrale e di otto Direzioni compartimentali del catasto, con sede a Roma, Torino, Milano, Firenze, Napoli, Bari, Palermo e Cagliari, espressamente destinate a cessare con l'attivazione del nuovo catasto. Alla Direzione compartimentale di Roma, in aggiunta a quelli dell'ex Stato pontificio, furono aggregati i catasti di Massa-Carrara, di Modena e Reggio nell'Emilia, di Parma e Piacenza; quella di Torino si occupava dei catasti di Piemonte e Liguria; quella di Milano dei catasti del Lombardo-Veneto; a quella di Firenze furono aggregati i catasti di Lucca; a quella di Napoli rimasero i catasti di Napoli e Campania e dell'Abruzzo e Molise; a quella di Bari furono assegnati i catasti della Puglia, della Calabria e della Basilicata; Palermo si occupava della Sicilia; Cagliari aveva i catasti della Sardegna. Da queste otto Direzioni dipendevano i Circoli di ispezione e le Sezioni dei circoli di ispezione con competenza provinciale.
Con r.d. 15 lug. 1888, n. 5565, che approvò il nuovo ruolo organico del personale tecnico di finanza, si chiuse la parentesi delle Sezioni tecniche delle Intendenza di finanza e vennero ricostituiti gli Uffici tecnici di finanza, posti sotto la vigilanza delle Intendenze e diretti da un ingegnere capo. Il r.d. 14 nov. 1894, n. 480, che stabiliva il ruolo organico del personale tecnico di finanza, ridusse a 45 il numero degli Uffici tecnici di finanza, ampliandone la giurisdizione. Con la l. 7 lug. 1902, n. 302, relativa al personale dell'amministrazione del catasto e dei servizi tecnici di finanza, furono fusi i ruoli del personale degli Uffici tecnici di finanza e del personale del catasto.
La l. 11 lug. 1889, n. 6214, previde la revisione generale dei redditi dei fabbricati. Con r.d. 6 feb. 1896, n. 31, invece, la Direzione generale delle imposte dirette e del catasto si sdoppiò in una Direzione generale delle imposte dirette (detta poi sui redditi) ed una Direzione generale del catasto, secondo un progressivo processo di distinzione di compiti che tendeva a potenziare, attraverso lo sviluppo dei servizi tecnici, le funzioni in materia di catasto degli Uffici tecnici di finanza. Con r.d. 4 lug. 1897, n. 276, venne infine approvato il testo unico delle disposizioni legislative sulla conservazione dei catasti dei terreni e dei fabbricati, il cui regolamento di esecuzione fu approvato con decreto in pari data, n. 277: vennero così disciplinate le competenze delle Agenzie delle imposte dirette e del catasto mentre i catasti, terreni e fabbricati, erano conservati nei comuni amministrativi. Con l. 7 lug. 1901, n. 321, vennero emanati provvedimenti per l'attivazione del Nuovo catasto terreni e per l'esecuzione delle relative volture catastali, alcuni dei quali risultano fondamentali anche ai fini del Catasto urbano. Infatti, con l. 9 lug. 1905, n. 395, contenente provvedimenti per la conservazione del Catasto urbano e di quelli antichi dei terreni, si provvide ad estendere al Catasto urbano alcune disposizioni della legge 321/1901. Il regolamento per la conservazione degli antichi catasti terreni e dei catasti urbani venne approvato con r.d. 24 mar. 1907, n. 237: si stabilì che fosse conservato l'esemplare dei registri catastali e delle mappe affidati alle Agenzie delle imposte dirette e del catasto per i comuni compresi nella propria circoscrizione distrettuale; nei compartimenti toscano, lombardo-veneto e parmensi tali documenti erano conservati per duplicato, ma solo nella parte cartografica, dagli Uffici tecnici erariali.
Con r.d. 28 ott. 1901, n. 472, il servizio tecnico di finanza venne aggregato all'amministrazione del catasto: l'Ufficio tecnico centrale del Ministero delle finanze fu unito alla Direzione generale del catasto che divenne Direzione generale del catasto e dei servizi tecnici; gli Uffici tecnici di finanza a livello provinciale furono posti alle dipendenze della Direzione generale. Con l. 7 lug. 1902, n. 302, che recava norme sul personale, venne creato un ruolo unico per il personale del catasto e di servizi tecnici di finanza; venne soppresso l'Ufficio tecnico centrale che divenne una divisione della Direzione generale del catasto e dei servizi tecnici.
Con r.d. 9 set. 1917, n. 1546, furono riordinate le imposte dirette e modificate le aliquote di imposta. Il r.d.l. 16 dic. 1922, n. 778, dettò disposizioni per la revisione del classamento dei terreni agli effetti del nuovo catasto (del 1886) e il r.d.l. 7 gen. 1923, n. 17, dispose la revisione generale degli estimi catastali. Il r.d. 11 gen. 1923, n. 148, estese ai territori annessi le imposte dirette vigenti nel Regno d'Italia, mentre con r.d. 30 dic. 1923, n. 3069, venne ordinata una rivalutazione generale del reddito dei fabbricati. Nelle nuove province annesse dopo la prima guerra mondiale restò in vigore il Catasto austriaco, fondato sul Libro tavolare o Libro fondiario che, a differenza del Catasto italiano, aveva valore probatorio.
Il r.d. 8 ott. 1931, n. 1572, approvò il testo unico delle leggi sul nuovo catasto, il cui regolamento di esecuzione fu approvato con r.d. 12 ott. 1933, n. 1539. Venne istituito, al centro, l'Ufficio generale del catasto, con funzioni tecniche e amministrative, coadiuvato dal collegio dei periti catastali, al quale spettava di provvedere all'allestimento degli atti necessari per eseguire l'attivazione del catasto. Fu stabilito che la conservazione del catasto si facesse per duplicato su due esemplari di atti identici da tenersi presso i rispettivi uffici speciali. Gli Uffici tecnici catastali presiedevano, nelle province, alla direzione e vigilanza dei lavori catastali. Con d.m. 20 gen. 1936 venne approvata l'istruzione XIV per la disciplina delle operazioni dirette alla conservazione del nuovo catasto. La l. 8 giu. 1936, n. 1231, previde modifiche alle leggi sulle imposte dirette, mentre con r.d.l. 7 ago. 1936, n. 1639, convertito in l. 7 giu. 1937, n. 1016, venne approvata la riforma degli ordinamenti tributari.
Fu il r.d. 22 ott. 1936, n. 2007, che, modificò il regolamento del personale degli Uffici finanziari, per la parte che si riferiva al personale del catasto e dei servizi tecnici erariali, e trasformò gli Uffici tecnici di finanza in Uffici tecnici erariali, disciplinando questi ultimi uffici e gli Uffici tecnici del catasto, nonché le Sezioni tecniche catastali. Gli Uffici tecnici erariali dipendevano dalla Direzione generale del catasto e dei Servizi tecnici erariali ed erano sotto la vigilanza delle Intendenze di finanza. Erano articolati in quattro Sezioni: Demanio e consulenze tecniche erariali; Imposte di fabbricazione, accertamento e ispezioni sulle fabbriche e le officine; Stime; Conservazione del catasto.
Il r.d. 10 mag. 1938, n. 664, convertito in l. 5 gen. 1939, n. 9, semplificò la procedura per la conservazione del nuovo catasto: la conservazione spettava agli Uffici tecnici erariali, per i comuni della rispettiva provincia, e una copia della mappa, dei registri partitari e della matricola dei possessori veniva depositata presso gli Uffici distrettuali delle imposte dirette (subentrati nel 1924 alle Agenzie delle imposte dirette e del catasto), unitamente a una copia del prontuario dei numeri di mappa. All'aggiornamento della copia dei registri partitari, della mappa particellare e del prontuario provvedevano gli Uffici distrettuali delle imposte dirette in base agli elementi forniti dagli Uffici tecnici erariali che, invece, provvedevano direttamente all'aggiornamento delle mappe. Con r.d. 8 dic. 1938, n. 2153, venne approvato il regolamento per la conservazione del Nuovo catasto terreni, mentre nel 1939 venne stabilita con r.d.l. 13 apr. 1939, n. 589, convertito in l. 29 giu. 1939, n. 976, la revisione generale degli estimi dei terreni. La conservazione veniva eseguita su un unico esemplare degli atti da apposita Sezione dell'Ufficio tecnico erariale, per tutti i comuni della provincia; agli Uffici distrettuali delle imposte dirette erano consegnate, per i comuni del rispettivo distretto, una copia della mappa particellare, una copia del registro delle partite, una copia della matricola dei possessori e una del prontuario dei numeri di mappa. Il r.d.l. 13 apr. 1939, n. 652, convertito in l. 11 ago. 1939, n. 1249, con modifiche, stabilì nuovi criteri, risultando insoddisfacenti tutti i precedenti, per l'accertamento generale degli immobili urbani, la rivalutazione del relativo reddito e la formazione del Nuovo catasto edilizio urbano (NCEU). Alle operazioni di accertamento dei fabbricati e della valutazione della rendita, nonché alla formazione di un catasto generale dei fabbricati e altri immobili urbani, denominato Nuovo catasto edilizio urbano, provvedeva l'amministrazione del catasto con gli Uffici tecnici erariali. Non rientravano nel catasto: fabbricati rurali già censiti nel catasto terreni; fabbricati costituenti fortificazioni e loro dipendenze; fabbricati destinati all'esercizio del culto; cimiteri e loro dipendenze; fabbricati di proprietà della Santa Sede individuati agli artt. 13-16 del trattato lateranense dell'11 febbraio 1929. Le variazioni occorrenti ai fini della conservazione del Nuovo catasto edilizio urbano erano fatte su tutti i documenti e per tutti i comuni della provincia dall'Ufficio tecnico erariale; una copia dello schedario delle partite, tenuta al corrente con le successive variazioni, era depositata presso gli Uffici distrettuali delle imposte dirette. Presso detti Uffici era depositata una copia della mappa, da aggiornarsi periodicamente a cura degli Uffici tecnici erariali. I comuni potevano ottenere, gratuitamente a mezzo di propri incaricati o a loro spese a mezzo di personale dell'amministrazione catastale, copia della mappa del loro territorio e degli atti che costituivano il Nuovo catasto edilizio urbano. La l. 17 ago. 1941, n. 1043, modificò il testo unico delle leggi sul nuovo catasto del 1931 e ulteriori modifiche furono apportate nell'anno successivo. Nello stesso anno venne introdotto il metodo aerofotogrammetrico per il rilievo topografico, abbandonato dopo alcuni decenni.
Dopo la liberazione, con d.m. 30 giu. 1945, n. 1441, venne approvato il regolamento di servizio per gli uffici provinciali dell'amministrazione del catasto e dei servizi tecnici erariali. Con d.lgs.lgt. 7 feb. 1946, n. 30, si stabilì la rivalutazione degli estimi catastali dei terreni e del reddito agrario; analoghe misure furono prese nell'ottobre del 1946 e nel 1947, mentre il d.lgs. 8 apr. 1948, n. 514, modificò la legge sul Nuovo catasto edilizio urbano e la disciplina delle Commissioni censuarie, per le quali era già stata approvata una nuova disciplina con l. 8 mar. 1943, n. 153.
Fino al 1949, sul territorio nazionale furono in attività 54 Uffici tecnici erariali e 41 Uffici tecnici del catasto-Sezioni autonome; questi ultimi limitavano la propria competenza alle sole questioni di carattere catastale, tralasciando così le attribuzioni inerenti l'accertamento di alcune categorie di imposte statali. Con d.m. 1° mar. 1949 venne modificata l'istruzione XIV per la disciplina delle operazioni dirette alla conservazione del nuovo catasto; la conservazione del nuovo catasto terreni fu affidata ad apposita Sezione dell'Ufficio tecnico erariale che risultava articolato in quattro Sezioni: Sezione prima, per il demanio e consulenze tecniche erariali; Sezione seconda, per la conservazione del catasto terreni; Sezione terza, per le stime; Sezione quarta, per gli accertamenti dei danni di guerra. Successivamente, in considerazione anche delle crescenti richieste di interventi tecnici, venne emanato con d.p.r. 1° dic. 1949, n. 1142, il regolamento per la formazione del Nuovo catasto edilizio urbano, cui seguirono numerose modifiche e disposizioni di revisione dei coefficienti di aggiornamento delle rendite. Con questo provvedimento tutte le operazioni per la formazione e la conservazione del catasto furono affidate all'Ufficio tecnico erariale e l'Ufficio distrettuale delle imposte dirette cessò definitivamente di avere competenza in materia catastale.
Gli Uffici tecnici erariali furono così articolati in cinque sezioni: Sezione prima: valutazioni e consulenze tecnico-economiche nell'interesse dell'amministrazione finanziaria e di altre amministrazioni statali riguardanti il patrimonio dello Stato e degli enti sottoposti a tutela; stime per l'applicazione di imposte particolari; prestazioni tecniche e consulenze relative ai canali demaniali ed a lavori edilizi e interventi di manutenzione riguardanti gli immobili sedi di uffici centrali e periferici dell'amministrazione finanziaria e del Tesoro e di altre amministrazioni statali; Sezione seconda: operazioni legate alla formazione ed alla conservazione del catasto terreni ed operazioni di rilevamento territoriale affidate all'amministrazione catastale in qualità di organo cartografico ufficiale dello Stato; attività di campagna e di ufficio per l'accertamento periodico delle mutazioni determinatesi per eventi di vario genere nella consistenza degli immobili censiti; Sezione terza: incarichi per l'applicazione dell'imposta di registro, dell'imposta sulle successioni e donazioni, dell'imposta comunale sull'incremento del valore degli immobili (INVIM) e per altre occorrenze in materia fiscale; Sezione quarta: operazioni riguardanti la formazione e la conservazione del nuovo catasto edilizio urbano; Sezione quinta: accertamenti tecnici e stime per i danni di guerra e per gli indennizzi connessi a requisizioni avvenute in periodo bellico da parte delle forze armate di paesi alleati. Queste sezioni, a causa del progressivo ridursi delle attività di competenza, furono progressivamente soppresse nella maggior parte degli uffici locali. L'Ufficio tecnico erariale provvedeva, pertanto, all'allestimento degli atti per eseguire l'attivazione del Nuovo catasto edilizio urbano: schedario dei numeri di mappa, schedario delle partite, schedario dei possessori e tutti gli altri atti ritenuti necessari dalla Direzione generale del catasto e servizi tecnici erariali.
Nel 1951, con l. 11 gen. 1951, n. 25 (cosiddetta legge Vanoni) vennero emanate le norme per la perequazione tributaria e con l. 4 nov. 1951, n. 1219, si cercò di adeguare l'imposta dei fabbricati alle concrete capacità di reddito dei fabbricati, mentre con d.p.r. 29 gen. 1958, n. 654, venne approvato il testo unico sulle imposte dirette. La l. 23 feb. 1960, n. 131, disciplinò l'applicazione dell'imposta fabbricati sulla base delle rendite nel Nuovo catasto edilizio urbano che entrò in vigore a partire dal 1° gennaio 1962. Con d.m. 28 ott. 1965 il Nuovo catasto edilizio urbano entrò in vigore anche nella provincia di Trieste. Nel corso degli anni Sessanta furono emanati vari decreti che aggiornarono i coefficienti di rendita catastale, finché con d.p.r. 29 set. 1973, n. 604, fu approvata la revisione degli estimi e del classamento del catasto terreni e del Nuovo catasto edilizio urbano. Si susseguirono norme che modificarono la disciplina delle imposte sul reddito e imposizione sulle case di abitazione e stabilirono nuovi coefficienti di aggiornamento dei redditi agrari, per i quali si procedette, con d.m. 13 dic. 1979, ad una revisione generale.
Con d.p.r. 1° ago. 1978, n. 511, fu istituito il Centro informativo della Direzione generale del catasto e dei servizi tecnici erariali. A seguito del d.p.r. 22 dic. 1986, n. 917, che approvava il testo unico delle imposte sui redditi, poi aggiornato e coordinato con successivo provvedimento del 1989, il Ministero delle finanze, con due decreti in pari data, d.m. 20 gen. 1990, stabilì una ulteriore revisione degli estimi del catasto terreni e del catasto edilizio urbano.
Con d.l. 27 apr. 1990, n. 90, convertito in l. 26 giu. 1990, n. 165, vennero approvate disposizioni in materia di determinazione del reddito ai fini delle imposte sui redditi e con d.lgs. 31 ott. 1990, n. 347, fu approvato il testo unico delle disposizioni concernenti le imposte ipotecaria e catastale.
A seguito alla l. 29 ott. 1991, n. 358, che ha riorganizzato il Ministero delle finanze, e al d.p.r. 27 mar. 1992, n. 287, che ha approvato il regolamento degli uffici e del personale, gli Uffici tecnici erariali sono stati soppressi e le loro competenze attribuite agli Uffici unici del territorio, organi periferici del Dipartimento del territorio, subentrato a sua volta alla Direzione generale del catasto e dei servizi tecnici erariali.